為貫徹落實黨中央、國務院關于加強基礎研究和提升原始創新能力的重要戰略部署，國家自然科學基金委員會（以下簡稱自然科學基金委）工程與材料學部擬資助“芯片亞納米級制造前沿探索”原創探索計劃項目（以下簡稱原創項目）。

　　后摩爾時代芯片先進制程工藝將邁入1 nm節點，亞納米級制造貫穿芯片制造工藝的全流程。然而，亞納米制造涉及從經典連續力學行為到量子行為的跨越，存在原子間、原子與能場間復雜的相互作用，因此亟需發展面向未來芯片的亞納米級制造新原理與新方法。

　　一、科學目標

　　本項目圍繞未來芯片制造面臨的共性基礎科學問題，旨在通過揭示表界面亞納米級尺度的定域、定量、定勢調控機制，建立亞納米級精度表面與結構的可控加工方法，為發展原子級制造開展先導性探索，支撐新一代芯片制造關鍵工藝和裝備能力的升級換代。

　　二、資助方向

　　（一）芯片制造過程中的亞納米級去除新原理與新方法。

　　開展多元互連異質表面亞納米級可控去除基礎研究，探索亞納米級可控去除的限域作用機理及多源能量調控機制，發展外場調控多元異質材料亞納米級同步去除技術，形成宏觀尺度互連異質表面亞納米級一致去除控制的拋光工藝、技術與裝備。

　　（二）芯片先進制程中的三維亞納米級結構構筑新原理與新方法。

　　開展極小尺度、極高深寬比亞納米結構精準制造基礎研究，探究原子級表面改性與反應調控機制，發展亞納米級表面改性的壓印模板制造與選區沉積技術，形成芯片三維互連亞納米結構的壓印成形與原子級精準沉積制造工藝與裝備。

　　（三）第四代半導體材料的亞納米級制造新原理。

　　發展金剛石等第四代半導體材料的“時-空-頻”多參數協同調控的激光制造等亞納米級制造新原理新技術；開展典型構件幾何特性、物化特性的跨尺度表征，建立其性能和制造之間的關系。

　　（四）芯片亞納米級制造過程中的缺陷檢測與修復。

　　探索芯片亞納米級制造過程中缺陷的形成機制，研究缺陷對外部能場的限域反應機制，發展超高時空精度的表面、亞表面缺陷一體化檢測技術，揭示外加能場作用下原子有序重構規律，形成基于原子排布精準調控的缺陷消除和修復新方法。

　　三、資助計劃

　　本原創項目資助期限為3年，申請書中研究期限應填寫“2024年1月1日－2026年12月31日”。計劃資助4-5項，平均資助強度200萬/項。

　　四、申請要求

　　（一）申請資格。

　　具有承擔基礎研究項目（課題）或其他基礎研究經歷的科學技術人員均可提出申請。

　　（二）限項申請規定。

　　1.申請人同年只能申請1項原創項目（含預申請）。

　　2.原創項目從預申請開始直到自然科學基金委做出資助與否決定之前，不計入申請和承擔總數范圍，獲資助后計入申請和承擔總數范圍。

　　3.應符合《2023年度國家自然科學基金項目指南》中對申請項目數量的限制。

　　五、申請程序

　　（一）預申請。

　　1.預申請提交時間為2023年11月24日－11月26日16:00時，以國家自然科學基金網絡信息系統（以下簡稱“信息系統”）提交時間為準，在提交時間之外提交的申請將不予受理。

　　2.請申請人登錄信息系統https://grants.nsfc.gov.cn撰寫預申請。沒有信息系統賬號的申請人請向依托單位基金管理聯系人申請開戶。在信息系統“申請與受理”菜單下，點擊“原創項目預申請”，進入預申請填寫頁面，選擇“指南引導類”，附注說明選擇“芯片亞納米級制造前沿探索”，申請代碼1應當填寫工程與材料科學部相應的申請代碼（“E”字母開頭），申請代碼2根據項目研究所涉及的領域自行選擇相應學科申請代碼。以上選擇不準確或未選擇的項目申請不予資助。

　　3.預申請主要闡述所提學術思想的原創性、科學性和潛在影響力，字數控制在2000字以內。另外，申請人還須在“與指南所列研究方向的吻合性”中注明申請針對的本指南所列資助方向名稱。申請人按照信息系統中的有關提示填寫預申請相關內容后直接提交至自然科學基金委。

　　4.自然科學基金委受理預申請并組織審查。審查結果將以電子郵件形式反饋至申請人。

　　（二）正式申請。

　　1.預申請審查通過的申請人，應按照“專項項目-原創探索計劃項目正式申請書撰寫提綱”要求填寫正式申請書。正式申請的核心研究內容應與預申請一致，并要求在正式申請書正文的第一句明確寫明申請項目所對應的本指南所列資助方向。

　　2.除特別說明外，每個原創項目的合作研究單位數合計不超過2個；主要參與者必須是項目的實際貢獻者。

　　3.申請人應根據《國家自然科學基金資助項目資金管理辦法》《項目資金管理有關問題的補充通知》有關規定和《國家自然科學基金項目資金預算表編制說明》的具體要求，按照“目標相關性、政策相符性、經濟合理性”的基本原則，認真編制《國家自然科學基金項目資金預算表》。

　　4.申請人完成申請書撰寫后，在線提交電子申請書及附件材料。

　　5.依托單位應對本單位申請人所提交申請材料的真實性和完整性進行審核。原創項目采用無紙化申請方式，依托單位只需在線確認并及時提交電子申請書及附件材料，并在截止時間后24小時內在線提交項目申請清單，無需報送紙質申請書。項目獲批準后，將申請書的紙質簽字蓋章頁裝訂在《資助項目計劃書》最后，與之一并提交。簽字蓋章的信息應與信息系統中的電子申請書保持一致。

　　6.自然科學基金委項目材料接收工作組負責接收申請材料，如材料不完整，將不予接收。材料接收工作組聯系方式如下：北京市海淀區雙清路83號國家自然科學基金委員會項目材料接收工作組（行政樓101房間），聯系電話：010-62328591。

　　六、注意事項

　　（一）資助項目信息公布。

　　自然科學基金委將在官方網站公布資助原創項目基本信息。

　　（二）項目實施保障。

　　原創項目負責人應將主要精力投入原創項目的研究中；依托單位應加強對原創項目實施的監督、管理和服務，減輕項目負責人不必要的負擔，為項目研究提供必要的制度和條件保障。

　　（三）其他。

　　原創項目申請與資助不設復審環節。

　　自然科學基金委將把相關項目負責人項目執行情況和評審專家的評審情況計入信譽檔案。

　　（四）咨詢方式。

　　1.填報過程中遇到的技術問題，可聯系自然科學基金委信息中心協助解決，聯系電話：010-62317474。

　　2.其他問題可咨詢工程與材料科學部綜合與戰略規劃處，電話：010-62326887。